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常见问题有哪些解决方案 华海清科取得发明专利授权:“金属膜厚在线测量抵偿重要、膜厚传感器和开垦”

发布日期:2025-03-15 07:50    点击次数:122

常见问题有哪些解决方案 华海清科取得发明专利授权:“金属膜厚在线测量抵偿重要、膜厚传感器和开垦”

本站音信,左证天眼查APP数据袒露华海清科(688120)新取得一项发明专利授权,专利名为“金属膜厚在线测量抵偿重要、膜厚传感器和开垦”,专利请求号为CN202310410608.0,授权日为2025年3月14日。

专利摘抄:本发明公开了一种金属膜厚在线测量抵偿重要、膜厚传感器和开垦,重要包括:抛光进程中,获取膜厚传感器测量金属膜厚的第n次输出量Sn;运用此时的膜厚传感器温度tsn和自己温漂函数,盘算推算传感器温漂抵偿量ΔSsn;运用此时的晶圆温度twn、第n?1次测定的膜厚dn?1以及晶圆温度抵偿函数,盘算推算晶圆温漂抵偿量ΔSwn;盘算推算抵偿后的输出量Sn′,Sn′=Sn?ΔSsn?ΔSwn;左证传感器输出函数以及所述抵偿后的输出量Sn′得到第n次测定的膜厚dn。

本年以来华海清科新取得专利授权17个,较昨年同时增多了54.55%。聚会公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面参加了1.71亿元,同比增23.19%。

数据来源:天眼查APP

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