常见问题有哪些解决方案 华海清科取得发明专利授权：“金属膜厚在线测量抵偿重要、膜厚传感器和开垦”

本站音信，左证天眼查APP数据袒露华海清科（688120）新取得一项发明专利授权，专利名为“金属膜厚在线测量抵偿重要、膜厚传感器和开垦”，专利请求号为CN202310410608.0，授权日为2025年3月14日。

专利摘抄：本发明公开了一种金属膜厚在线测量抵偿重要、膜厚传感器和开垦，重要包括：抛光进程中，获取膜厚传感器测量金属膜厚的第n次输出量Sn；运用此时的膜厚传感器温度tsn和自己温漂函数，盘算推算传感器温漂抵偿量ΔSsn；运用此时的晶圆温度twn、第n?1次测定的膜厚dn?1以及晶圆温度抵偿函数，盘算推算晶圆温漂抵偿量ΔSwn；盘算推算抵偿后的输出量Sn′，Sn′＝Sn?ΔSsn?ΔSwn；左证传感器输出函数以及所述抵偿后的输出量Sn′得到第n次测定的膜厚dn。

本年以来华海清科新取得专利授权17个，较昨年同时增多了54.55%。聚会公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面参加了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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